|
Ürün ayrıntıları:
|
| Maksimum Ürün Boyutu: | 8 inç ve altı gofretler | Ekipman boyutları: | 970mm x 1450mm x 2024mm (geniş x derinlik x yükseklik) |
|---|---|---|---|
| Isıtma sıcaklığı aralığı: | Oda sıcaklığı ~ 800 °C (termokople) 800 °C ~ 1250 °C (infra kırmızı pirometre) | Isıtma Hızı: | 150 °C/s çıplak wafer 20 °C/s silikon karbit taşıyıcısı |
| Sıcaklık Tekdüzeliği: | < 500 °C, eşitlik ≤ ± 5 °C ≥ 500 °C, eşitlik ≤ ± 1% | Sıcaklık kontrolünün tekrarlanabilirliği: | ±1°C |
| Sabit sıcaklık süresi: | İhtiyaçlara göre programlanabilir | ||
| Vurgulamak: | Üretimi artırmak Hızlı termal işleme,Hızlı Termal İşleme Annealing Sistemi |
||
Hızlı Termal İşleme, ısıtma için iki katman kızılötesi halogen lamba kullanan dikey yarı otomatik 8 inçlik bir wafer hızlı kızartma fırınıdır.İç kuvars boşluğu yalıtımlı ve yalıtımlı, ve boşluğun dış kabuğu, ürünün tekdüze ısıtılmasını ve düşük yüzey sıcaklığını sağlayan su soğutmalı alüminyum alaşımından yapılmıştır.
Hızlı Termal İşleme, PID kontrolünü benimser ve sistem kızılötesi halogen lambalarının çıkış gücünü hızlı bir şekilde ayarlayabilir ve sıcaklık kontrolünü daha doğru hale getirir.
Çift katmanlı kızılötesi halogen lamba tüp ısıtma, hızlı azot soğutma;
Temperatür tekdüzeliğini artırmak için bağımsız olarak geliştirilen lamba tüplerinin gruplandırılmış düzenlenmesi;
PID algoritması kontrolü kullanılarak, lamba gücünün gerçek zamanlı ayarlanması;
Kullanıcı hesapları, kolay bilgi yönetimi için üç yetki seviyesine ayrılır.
Yazılımın ana arayüzü gaz, sıcaklık, vakum derecesi vb. gibi gerçek zamanlı parametreleri gösterebilir;
Sistem, her süreç için ilgili bilgileri otomatik olarak kaydeder.
Hata mesajlarını otomatik olarak tanır ve anormallikler durumunda cihazı otomatik olarak korur:
Aşırı ısınma algılama: Odanın dış kabuğundaki su soğutulmuş alüminyum alaşımının sıcaklığı 70 °C'yi aştı.
Termokopül algılama: Sistem işlemi sırasında, termokopül izleme değeri ayarlanmış değere uymuyor.
Isıtma tespiti: Isıtma sırasında anormal çıkış gücü.
Fırın kapısı kilidinin tespiti: Her işlemden önce kapı kilidinin kilitli olup olmadığını kontrol edin.
Gaz algılama: Gaz basıncı ayarlanmış aralığı aşar, gaz basıncı çok yüksek veya çok düşüktür.
Su akışının tespiti: Giriş akış hızı varsayılan değerden daha düşüktür.
Sızıntı tespiti: Sızıntı tespit edildi.
Acil durma anahtarı: Süreci derhal durdurun ve ısı kaynağını kesin.
İyon ekimi kızartma
ITO kaplamasından sonra hızlı kaynatma
oksit
Nitrit artışı
Silikit alaşımlarının kızartılması
Galiyum arsenür işlemi
Ohmik temas hızlı alaşımı
Oksidatif reflüs
Diğer yarı iletken hızlı ısı işleme süreçleri
| RTP-SA-8 | |
| Ürününün maksimum boyutu | 8 inçlik ve daha küçük levhalar |
| Ekipmanın boyutları | 970mm x 1450mm x 2024mm (geniş x derinlik x yükseklik) |
|
Isıtma sıcaklık aralığı |
Oda sıcaklığı ~800 °C (termokople) 800 °C ~ 1250 °C (infra kırmızı pirometre) |
|
ısıtma hızı |
150 °C/s çıplak vafra 20 °C/s silikon karbid taşıyıcısı |
|
Sıcaklık eşitliği
|
< 500 °C, eşitlik ≤ ± 5 °C ≥ 500 °C, eşitlik ≤ ± 1% |
| Sıcaklık kontrolünün tekrarlanabilirliği | ±1°C |
| Sabit sıcaklık süresi | Gereksinimlere göre programlanabilir |
Standart yapılandırma
| Sayı | Adı | Specifikasyon modeli | Performans/Parametreler Açıklaması | miktarı | Birim |
| 1 | Hızlı Termal İşleme | RTP-SA-8 |
Dış boyutlar:970*1450*2024 (genişlik x derinlik x yükseklik) |
1 | bir dizi |
| (1) | Fırın gövdesi | LT-08 | Suyla soğutulmuş altın kaplama alüminyum alaşımlı oda | 1 | bir dizi |
| (2) | Vakum odası | SQ-08 | Yüksek saflıklı kuvars boşluğu | 1 | bir dizi |
| (3) | Halogen tüpü | D8-20 | 2 kW/parça | 33 | parça |
| (4) | Kwarts koltuk | SJ-08 | Yüksek saflıklı kuvars (8 ") | 1 | bir dizi |
| (5) | Grafit halka | --- | grafit | 1 | bir dizi |
| (6) | Sıcaklık ölçümü için termokopl | K-08G | K tipi ±1,5°C veya ±0,4%t | 2 | bir dizi |
| (7) | Endüstriyel bilgisayar | IPC-510 | dvantech Endüstriyel Kontrol, 10. nesil i5 1 seti | 1 | bir dizi |
| (8) | ekran | / | 21.5 inçlik ekran | 1 | parça |
| (9) | MFC |
MC-1601L(10L), MC-1602L ((100L) |
Warwick GN2/PN2/O2/N2 Toplam 5 gaz boru hattı için bir gaz boru hattı rezervi |
5 | bir dizi |
| 10 | Soğutucu | KBE-5A | Soğutma gücü: 14.8KW | 1 | parça |
| 11 | vakum pompası | SP600 | Pompa hızı 522L/dakikada | 1 | bir dizi |
| 12 | Kızılötesi pirometre | / | / | 1 | bir dizi |
2.3. Ortak tüketim malzemeleri
| Sayı | Adı | Specifikasyon modeli | Birim | Bakım Döngüsü |
| 1 | Grafit halka | RTP-SiC-8 | EA | Hasarlı yedek |
| 2 | Kuvars levhası | RTP-QC-8 | EA | Hasarlı yedek |
| 3 | Kwarts koltuk | RTP-QS-8 | EA | Hasarlı yedek |
| 4 | Kuvars tüpü | RTP-QT-8 | EA | Hasarlı yedek |
| 5 | Lamba tüpü | RTP-HT-8 | EA | 2000 saat |
| 6 | O-ring | RTP-Or-8 | EA | Bir yıl |
| 7 | K tipi termokopüler | KT-800 | EA | 3 ay |
| 8 | Vakum pompasının bakımı | / | EA | Bir yıl |
| 9 | MFC doğrulama | / | EA | Bir yıl |
İlgili kişi: Xiwen Bai (Ciel)
Tel: +8613372109561
